主要特點

1. 配置CBI氧濃度及濕度實時監控系統

2. 氧濃度監測范圍：0-30%（PPM級可選）

3. 潔凈度范圍：Class10級~1000級可選

4. 塵埃粒徑通道:0.3um- 10um，6多通道顯示

5. 主動送風及內循環設計，可提高控制精度和均勻性。

6. 標準內容：650L/1200L

7. 節能可達90%

8. 采用低噪音免維護風機及進口品牌99.99%高效過濾器

9. LCD智控系統可顯示，報警，記錄和數據導出等功能

10. 選用防靜電噴涂，ROHS認證兼容無塵環境

產品主要應用

1. 硅片、LCD玻璃清洗后存放

2. 精密元器件生產過程中暫存

3. 現代微組裝工藝