主要特點

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1. 內置耐高溫過濾器

2. 全密封箱體設計，特別送氮和排氧回路，防氧化

3. 配置3.5” 中英文彩色可編程雙路控制器。

4. 運行溫度可到250/350℃

5. 實時微量氧濃度PPM檢測系統（可選）

6. 多種內容積可選或定制

7. 可選配CBI自制氮氣模塊，滿足無氮場合

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產品主要應用

1. PI/BCB 膠高溫厭氧固化

2. 環氧樹脂膠厭氧固化

3. 晶圓退火或鈍化

4. MSD芯片防氧化低濕干燥